Çin'in en büyük çip üreticisi SMIC, ülkenin ilk yerli daldırmalı Derin Ultraviyole (DUV) litografi aracını test etmeye başladı. Bu gelişme, Çin'in yarı iletken ekipmanı tedarikinde kendi kendine yeterliliğe ulaşma çabalarında önemli bir kilometre taşını işaret ediyor.
Shanghai Yuliangsheng Technology Co. tarafından geliştirilen bu sistem, Huawei ile bağlantılı SiCarrier'ın çip üretim ekipmanları alanındaki hamlelerinin bir parçası olarak görülüyor. Daldırmalı litografi kullanan bu DUV makinesi, 28nm sınıfı üretim teknolojileri için tasarlanmış olsa da, çoklu desenleme (multipatterning) teknikleriyle 7nm veya hatta 5nm üretim düğümlerinde de kullanılabileceği belirtiliyor.
Yuliangsheng aracının büyük ölçüde Çin içinde üretilen bileşenlerden oluştuğu ancak bazı parçaların hala ithal edildiği biliniyor. Şirket, tedarik zincirinin tamamını yerelleştirmek için aktif olarak çalışıyor. Bu hedef tam olarak gerçekleştirildiğinde, Çin'in bu kritik çip üretim segmentinde dış politika etkisinden bağımsız hareket etmesinin önü açılacak.
Test edilen Yuliangsheng daldırmalı DUV sistemi, piyasada bulunan benzer araçlarla karşılaştırıldığında, geçmişte 32nm sınıfı işlem teknolojisi için tasarlanmış bir aracın özelliklerine sahip. Teorik olarak bu sistemle daha gelişmiş üretim düğümlerinde çipler üretilebilse de, bunun için mevcut araçların önemli ölçüde iyileştirilmesi ve geliştirmeler yapılması gerekecek. Bu tür bir gelişimin, aracın üretim hatlarına entegrasyonundan sonra uzun yıllar sürebileceği ve SMIC'in 10nm altı üretim süreçlerini yerli litografi sistemleriyle 2030 yılından önce hayata geçirmesinin beklenmediği ifade ediliyor.
Projenin önemini vurgulamak amacıyla aracın kod adının 'Everest Dağı' olduğu belirtiliyor. İlginç bir şekilde, SiCarrier'ın da WFE (Wafer Fabrikasyon Ekipmanı) projelerine dağ isimleri verdiği biliniyor. Bu durum, SiCarrier ve Shanghai Yuliangsheng Technology Co. arasındaki bağlantıyı ve aynı hedefe yönelik çalışmalarını destekliyor. Shanghai Yuliangsheng Technology Co.'nun daha önce ABD Ticaret Bakanlığı'nın listesine dahil edildiği de dikkat çekiyor.
SMIC'in bu yerli daldırmalı DUV litografi aracını ne zaman tam olarak üretim akışına entegre edeceği ve seri üretime başlayacağı henüz belirsizliğini koruyor. Ancak, 2027 yılından itibaren yerli daldırmalı DUV litografi makinelerinin üretim hatlarına entegre edilmesi hedefleniyor.
